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分析报告

CALPAS能够提供3种格式的分析报告。一种是杂质异色分析报告，另外两种是杂质粒子异形分析报告和所有粒子尺寸形状分析报告。图片8显示所有粒子尺寸和形状分析结果，这种格式的报告和只显示异形信息的杂质粒子异形分析报告有关，杂质异形参数通过异形自定义功能进行设定。尺寸和形状的分类等级是同样重要的因素，CALPAS提供用户能够设定尺寸和形状分级的范围的功能。最终，包含图片的分析报告会提供给用户进行确认。